晶圓溫度管理系統(tǒng)

    晶圓生產(chǎn)完成后，需要對其進(jìn)行各種參數(shù)的檢測，在檢測的過程中，需要在不同溫度下進(jìn)行測試，晶圓測試用溫控設(shè)備（晶圓測試溫控系統(tǒng)）是高精度，高分辨率，高穩(wěn)定性的控制設(shè)備。